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新闻内容

溅射镀膜用高纯锆靶材制备方法及主要用途

多弧锆靶材


锆靶材是高纯锆材料的加工产品,颜色为银白色金属色,密度为6.49g/cm3,熔点为1852°C。具有高纯度、高密度、耐高温和耐腐蚀性等特点。高纯度的锆靶材可以避免杂质对薄膜性能的影响;高密度的锆靶材可以提高薄膜的附着力和致密性;耐高温和耐腐蚀性能可以保证锆靶材在制备过程中的稳定性和寿命。


锆靶材特征

锆靶材形状:平面靶 旋转靶 异型定制

锆靶材纯度:2N5,3N5

锆靶材尺寸:按图纸加工或其他者定制

我们还可以提供锆丝、锆片、锆棒、锆颗粒、锆块、锆粉等


锆靶材


锆靶材制备工艺

准备锆材料:将锆棒切割成小块,去除表面氧化物;

准备熔炉:在熔炉中放置锆材料,加入保护气体(通常是氩气);

熔炉升温:将熔炉加热至锆材料的熔点(约1852°C);

熔炉降温:待锆材料完全熔化后,降低熔炉温度,使锆材料逐渐凝固;

取出锆靶材:待熔炉冷却后,取出锆靶材,进行后续的加工和处理。

需要注意的是,在制备过程中需要保证气氛的纯净度,以避免锆材料受到污染。同时,制备过程中还需要控制温度和熔体的流动,以获得高质量的锆靶材上图是锆靶材的显成分分析报告。


锆靶材应用

锆靶材主要用于制备金属氧化物、金属和合金等薄膜,这些薄膜在半导体、光电子、化学及生命科学等领域中都有重要的应用。例如,在半导体领域,锆靶材可用于制备MOSFET器件中的栅电极和金属互连层;在光电子领域,锆靶材可用于制备电子束蒸发器中的阴极和光学涂层。


金属锆其他应用

核工业:金属锆是核燃料棒的重要组成部分,可以提供优异的耐腐蚀性和机械强度,同时还可以作为核反应堆的燃料包壳材料。

化学工业:金属锆可以作为化学反应容器和管道材料,具有优秀的耐腐蚀性能和高温稳定性能,可以用于各种化学反应和处理。

航空航天工业:金属锆可以用于制造高温部件,如涡轮叶片、喷气发动机零件等,因为它具有高温强度和热膨胀系数小的特点。

医疗器械:金属锆可以用于制造人工关节、牙科种植体等,因为它具有良好的生物相容性和机械能。

电子工业:金属锆可以用作电子器件的封装材料和电极材料,因为它具有优异的导电性能和耐高温性能。


锆靶材化合系列

除锆靶材外,我们还可以提供锆钇合金,锆铝合金,锆铜钛合金,钛锆合金、硅锆合金、铜铬锆合金 、钴锆钽合金、钛锆钒铝合金等溅射靶材。


感谢您阅读高纯锆靶材制备工艺及应用。希望大家能对锆靶材有更好的了解。 如果您想了解更多关于金属科研材料的信息,请收藏我们的网站鑫康新材料/


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